簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Chun-Hui Chung".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="複線式鑽石線鋸"


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    單晶碳化矽晶圓之鑽石線鋸加工模式分析研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 黃浩維 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽因材料特性上擁有多項優點,於功率元件市場中備受重視,然而其高硬度及耐化學性質造成基板製造之困難,本研究分別從磨料移除材料和線網運動觀點分析複線式鑽石線鋸加工製程(Multi-wire di…
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